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366.103 - Theorie, Modellierung und Simulation mikro- und nanoelektromechanischer Systeme (MEMS/NEMS) (VO 3.0ECTS)
Schmid, Ulrich
2023W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel
Disnan, Davide

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
2022W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel
Disnan, Davide

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
2021W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel
Disnan, Davide

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
2020W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel
Disnan, Davide

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
2019W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel
Maier, Franz Josef

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
2018W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel

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2017W
Schmid, Ulrich
Platz, Daniel

E366 Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme